全自動 Wafer ESD試験器
HED-W5300D
WaferESD試験器 HED-W5300Dは、従来の製品HED-W5100Dより格段に進化し、
Waferを乗せるステージが自動で制御できるようになりました。
300mm クラスのWaferでも、Waferをステージに乗せるだけで、簡単に測定できます。
作業効率が大幅に向上すること間違いありません。
また、従来の製品と同じく一般のパッケージ品に対しても試験が可能です。
全自動 Wafer ESD試験器
HED-W5100D
LED用からシステムLSIの大口径のWaferまで、 HBMとMMに対応した印加ができます。
ESD印加後、V/I測定による破壊判定も可能です。
また、ESD試験とかかわりの深いTLP試験装置との併用試験が可能です。
ESD試験で問題の生じたデバイスに対し、保護回路の動作パラメータを取得するのに有効です。
日本、海外の規格に対応した信頼性の高い装置です。（JEITA/ESDA/JEDEC規格対応）
高性能Manual Wafer ESD試験器
HED-W5000M
マニピュレータを操作して、簡単に２ピン間の位置合わせができます。
パルス印加後、Vf/Im測定による破壊判定が可能です。
Low Cost Wafer ESD試験器
HED-W5000M-SP0
ローコストでハイパフォーマンスを提供します。
コントロールソフトの開放により、広範囲にアプリケーションを構築することができます。
Wafer ESD試験器
HED-W5000M-WFC
集積回路に組み込まれた保護回路の動作パラメータの収集と分析では、TLP試験装置が
大きな役割を発揮しましたが、半導体の微細化が進む中で、ESD耐性を向上させる為
には保護回路のさらなる開発スピードが要求されています。
HED-W5000M-WFC試験器は、実際にデバイスに加わるESD波形を観測することができる為、
保護回路パラメータの収集、分析、開発スピードの短縮に大きな力を発揮します。