製品情報

Wafer ESD試験器 ラインナップ

Wafer上でHBM,MMの試験ができる装置です。

製品名/型式 装置説明 カタログ 動画

HED-W5100D
HED-W5100D

全自動 Wafer ESD試験器

LED用からシステムLSIの大口径のWaferまで、 HBMとMMに対応した印加ができます。
ESD印加後、V/I測定による破壊判定も可能です。
また、ESD試験とかかわりの深いTLP試験装置との併用試験が可能です。
ESD試験で問題の生じたデバイスに対し、保護回路の動作パラメータを取得するのに有効です。
日本、海外の規格に対応した信頼性の高い装置です。(JEITA/ESDA/JEDEC規格対応)


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HED-W5000M
HED-W5000M

高性能
Manual Wafer ESD試験器

マニピュレータを操作して、簡単に2ピン間の位置合わせができます。
パルス印加後、Vf/Im測定による破壊判定が可能です。


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HED-W5000M-SP0
HED-W5000M-SP0

Low Cost Wafer ESD試験器

ローコストでハイパフォーマンスを提供します。
コントロールソフトの開放により、 広範囲にアプリケーションを構築することができます。


HED-W5000M-WFC
HED-W5000M-WFC

Wafer ESD試験器

集積回路に組み込まれた保護回路の動作パラメータの収集と分析では、TLP試験装置が 大きな役割を発揮しましたが、半導体の微細化が進む中で、ESD耐性を向上させる為 には保護回路のさらなる開発スピードが要求されています。
HED-W5000M-WFC試験器は、実際にデバイスに加わるESD波形を観測することができる為、 保護回路パラメータの収集、分析、開発スピードの短縮に大きな力を発揮します。


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